超穎透鏡 | 代工服務 | SCIVAX
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超穎透鏡

我們可同時支援以 PDK(Process Design Kit)實現高再現性的設計,以及依客戶規格進行的客製化設計。除了材料與結構的彈性選擇,也提供從設計、試作到量產的一站式支援,全面協助超穎透鏡從研發到實用化。

超穎透鏡
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選擇 SCIVAX 的理由
01

支援 PDK 基礎設計與客製化設計

我們提供已事先驗證光學特性的 PDK(Process Design Kit),可立即運用製程規格、透鏡模型與設計規則。除了標準 PDK,也可依客戶需求彈性支援客製化設計,從規格檢討到製造皆可一貫支援。

02

光學設計支援

從超穎透鏡設計所需的光學解析到透鏡設計,皆可一貫支援。

03

支援晶圓尺寸

從研發用途到量產,皆可依目的支援合適的晶圓尺寸。

04

試作與量產代工

從單片試作到量產,可依開發階段彈性支援。支援每月 1 至 100 片規模的製造,從量產導入到穩定供應皆可一貫支援。

支援規格
項目規格與支援範圍
成型方式使用 NIL 遮罩進行無機材料乾蝕刻 / 直接成型於高折射率樹脂
支援材料PDK 基礎
非晶矽(n=3.78)
客製支援:SiN 等無機材料、高折射率樹脂(n≥1.8)
支援基板無鹼玻璃晶圓、石英晶圓
4 吋至 8 吋
設計PDK 基礎
節距:385 nm / 450 nm;meta-atom 直徑:100 nm 至 300 nm;深寬比:最高 7
工作波長PDK 基礎
940 nm
試作與量產代工每月 1 至 100 片
成型案例
αSi 超穎透鏡截面 SEM

αSi 超穎透鏡乾蝕刻加工案例

以 NIL 圖案作為遮罩蝕刻 Si 基板。案例條件為節距 450 nm、meta-atom 高度 700 nm、12 相位階、工作波長 940 nm。


超穎透鏡代工諮詢

我們會依照規格與生產規模提出合適方案。歡迎隨時與我們聯絡。

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