PDK（Process Design Kit）による高再現性の設計と、お客様仕様に応じたカスタム設計の両立に対応しています。材料・構造の柔軟な選択肢に加え、設計から試作、量産までをワンストップで支援することで、メタレンズ開発の研究開発から実用化までを総合的にサポートいたします。
光学特性を事前に検証したPDK（Process Design Kit）を提供しており、プロセス仕様・レンズモデル・デザインルールをすぐにご活用いただけます。また、標準PDKに加え、お客様の要件に合わせたカスタム設計にも柔軟に対応し、仕様検討から製造まで一貫してサポートします。
メタレンズの設計に必要な光学解析からレンズ設計まで、一貫してサポートします。
研究開発用途から量産まで、目的に応じたウエハサイズに対応しています。
試作1枚から量産まで、開発段階に応じて柔軟に対応します。月産1〜100枚規模の製造に対応し、量産立ち上げから安定供給まで一貫してサポートします。
| 項目 | 仕様・対応範囲 |
|---|---|
| 成型方式 | NILマスクを用いた無機材料ドライエッチング/高屈折率樹脂への直接成型 |
| 対応材料 | PBKベース アモルファスSi（n=3.78） カスタム対応：SiN等無機材料、高屈折率樹脂（n≥1.8） |
| 対応基板 | 無アルカリガラスウエハ、石英ウエハ ４インチから８インチ |
| デザイン | PBKベース ピッチ:385nm/450nm メタ原子径:100nm～300nm アスペクト比:～7 |
| 動作波長 | PBKベース 940 nm |
| 試作・量産受託 | 1〜100枚/月 |
NILパターンをマスクとしてSi基板をエッチング。ピッチ450nm、メタアトム高さ700nm、12位相ステップ、動作波長940nmの事例。
仕様・生産規模に応じたご提案をいたします。まずはお気軽にお問い合わせください。
