AR/MR 眼鏡用 SRG 型波導的高精度成型。支援在高折射率樹脂上形成繞射光柵，以及對 SiC 等高折射率無機材料進行蝕刻兩種類型。透過 Dyad® 的低 Distortion 壓印，量產高良率、高品質波導。
支援使用高折射率壓印樹脂直接成型，以及蝕刻 SiC 等高折射率基材的製程，並從零開始建立材料與製程。
透過使用自主開發 Dyad® 的 Hard-to-Hard 方式，將 In-Coupler 與 Out-Coupler 的圖案節距偏移降至最低，實現抑制影像品質劣化的高精度成型。
透過低 Distortion 壓印，可不受瞳孔尺寸與 FOV 影響而大幅提升波導良率。量產時良率改善會直接反映在成本上。
支援在 n=2.0 以上的高折射率透明玻璃基材上進行高折射率壓印樹脂成型，可穩定形成多種形狀的繞射光柵。
目前可承接最高 φ8″ 的代工。Dyad® 設備也提供 8″ 與 12″ 銷售，為未來大口徑需求做好準備。
除了代工服務，也銷售 Dyad® 設備。對於考慮內製化的客戶，可從設備與製程兩方面提供一貫支援。
相較於一般 NIL 方式，Dyad® 的 Hard-to-Hard 方式可降低 In-Coupler 與 Out-Coupler 的圖案節距偏移。即使改變瞳孔尺寸與 FOV，也可抑制對良率的影響，以高良率製作更高精度的 AR 用波導。
High-n resin imprint on high-n substrate
在高折射率透明基材（玻璃 n=2.0 以上）上，使用高折射率壓印樹脂形成 SRG 型繞射光柵。
Substrate etching (e.g. SiC)
透過蝕刻 SiC、TiO2 等高折射率基材本身形成繞射光柵。使用蝕刻專用壓印樹脂，實現對基材等無機膜的直接圖案化。
| 項目 | 規格與支援範圍 |
|---|---|
| 支援類型 | 高折射率樹脂成型（類型 A）/ 高折射率基材蝕刻（類型 B） |
| 基材折射率 | 支援 n = 2.0 以上的高折射率透明基材 |
| 壓印方式 | 使用 Dyad® 的 Hard-to-Hard 低 Distortion 壓印 |
| 支援晶圓尺寸 | 最高 φ8″（代工）/ φ8″、φ12″（Dyad® 設備銷售） |
| 圖案類型 | SRG 型繞射光柵（In-Coupler / Out-Coupler） |
| 特色 | 透過低 Distortion 將圖案節距偏移最小化並實現高良率 |
與一般 NIL 方法相比的 Dyad® 成型良率改善案例。將瞳孔尺寸與 FOV 變動對波導良率的影響降至最低。
為 AR 用波導成型的繞射光柵圖案 SEM 截面影像。確認高精度光柵形狀的再現性。
我們會依照規格與生產規模提出合適方案。歡迎隨時與我們聯絡。
