技術資料

White Paper — Metalens

メタレンズの設計と製造

近年、表面ナノ構造体の分布状態により透過光の位相分布を制御してレンズ機能を実現するメタレンズ は、従来の光学を大きく変えるものとして、スマートフォン、AR／VR、車載、医療、光通信など多くの 分野での応用が提案され、開発が進んでいます。 本稿では、SCIVAX のコア技術である光学シミュレーション技術と微細加工技術を活用したメタレンズ の設計および製造サービスについて紹介します。

White Paper — Equipment

ナノインプリント装置RubiQ®

ナノインプリントの応⽤分野の多くは、先端的な研究要素を含むと同時に、早期に製品を市場に提供 するため、開発からパイロット⽣産へのシームレスな移⾏も要求されます。 不確実性の⾼い研究開発のためには、技術的選択肢の広い⾃由度の⾼い装置を使いたい、⼀⽅、開発 成果がそのまま製品の製造に直結できるような完成度の⾼い装置であって欲しい。 このような技術開発に携わるお客様の悩みにお答えして研究開発からパイロット⽣産までをカバーで きる装置として開発されたナノインプリント装置 RubiQ®を紹介します。

White Paper — Sensor

3D-TOFセンサー用超広角拡散素子の車載応用

照射した光が対象物までに反射して返ってくる までの時間をもとに、カメラと対象物の間の距離 を測定する Time of Flight(TOF)による３D センシ ングシステムは、小型化、CPU 負荷が少ない、暗 所での利用などの利点があります。 当社の TOF センサー用の拡散光学素子 Platanus は、光源から出た光を透過させ受光カメラの視野 内に照射されるように配光分布を制御する光学素 子で、光の高い利用効率、ムラの無い均一な照射 強度、正確な配向制御等の特徴がありますが、そ の中で特に視野角 140°という超広角の照射角を実 現する製品とその車載応用について紹介します。

White Paper — Sensor

3D-TOFセンサー用ドット照明光学素子

３D センシング技術は、深度（距離情報） を画像データとして取得する技術です。近 年、図１に示すように、3D センシング技術 は、工業用計測に加え、高い分解能を必要と する顔認証から自動運転やドローンに搭載さ れるシステム等様々な応用に広がろうとして います。 3D センシング技術の中でも、対象物に 対し光を照射したタイミング、対象物からの 反射光を受光するタイミングのずれを計測し 距離を測長する手法を Time of Flight(TOF) センシングといいます。 ここで取り上げる TOF センシング向けの ドット照明光学素子は、同素子を透過した光 が対象物体にドット状のパターン光を照射す るための光学素子で、主として比較的長距離 の物体の距離検知に用いられます。その特徴的な光学性能と応用について説明します。

White Paper — Sensor

3D-TOFセンサー用拡散光学素子

３D センシング技術は、2D 画像のみでなく、深度（距離情報）を画像データとして取得する技術で す。近年、カメラに映る物体の距離をセンシングする技術は、従来の工業計測用途だけでなく、図１に 示すように、自動運転、スマホに搭載される拡張現実 AR や仮想現実 VR のゲーム機器、ロボット家電 など消費者向けの用途に広く使われようとしていま す。 3D センシング技術の中でも照射した光が対象物 に反射して返ってくるまでの時間から、カメラと対象 物間の距離を算出する測定手法を、Time of Flight(TOF)センシングといいます。この技術には、 システムの小型化、データ取得時の CPU 負荷が少な い、暗所での利用が可能などの利点があります。 ここで取り上げる TOF センシング向けの拡散光学 素子は、光源から出て同素子を透過した光が受光カメ ラの視野内に所望の強度分布に照射されるように配光 分布を制御する光学素子です。以下にその特徴的な光 学性能と応用について説明します。

White Paper — Bio

NGS（Next Generation Sequencer）チップ量産へのナノインプリントリソグラフィの応用

Nanoimprint 技術はもともと半導体の微細パターン形成技術として 25 年程前に開発されました。当 初より 10nm レベルの解像のできる技術として着目されていましたが、近年は、モバイルデバイスをは じめ、自動運転、ロボティクス、セキュリティー等の光学センサーや、AR（拡張現実）グラスの導光板 などが主要なアプリケーションとなり、数 100nm～数 um レベルでの DOE、MLA などの構造形成用途 で見直されてきています。ここで取り上げる NGS の用途は光学部品ではなく、DNA 検査チップの読み 取り部分に微細なホール構造をもった基板を大量生産する量産技術としての Nanoimprint 技術の応用に ついて説明します。

White Paper — Other

ナノインプリントリソグラフィを用いたワイヤグリッド偏光子

Nanoimprint 技術は、ガラスや樹脂など広範な基板材料表面に 10nm レベルのパターンを安価に形成 できるリソグラフィー技術として着目されていますが、近年、モバイル機器、ディスプレイ、自動運 転、ロボティクス、セキュリティー、AR（拡張現実）など特に高い耐環境性能を要求されるナノフォト ニクス光学デバイスを製造するための必須技術となっております。ここで取り上げるワイヤグリッド偏 光子は、透明基板上に形成された数 10nm の金属のライン＆スペースパターンで構成される無機材料の 偏光板で、以下にその特徴的な光学性能と応用について説明します。