量產用 NIL 設備
全自動 UV 奈米壓印設備
Dyad® 200
Dyad® 200
由 SCIVAX × Tazmo Co., Ltd. 共同開發
將 SCIVAX 開發的多樣壓印機構整合於一台設備，並與半導體製造設備廠商 Tazmo 株式會社共同設計與開發的量產用 UV 壓印設備。採用以剛性基板作為複製模具基材的 Hard-to-Hard 壓印方式，實現高精度、高良率的量產。
Key Features
Hard-to-Hard 方式可解決的課題
AR 眼鏡用波導
均勻性提升
相較於 Flex 基材複製模具，可大幅降低晶圓面內的壓印變形。已在 AR 眼鏡波導成型中驗證可改善均勻性與畫質。
疊對對位
≤±1μm
透過量產等級的選配對位機構，達成 ±1μm 以下。可因應需要精密圖案對位的裝置製造。
高長寬比結構
脫模性提升
可緩解在柱狀／孔洞等高長寬比結構脫模時發生的複製品破損，同時改善良率與生產效率。
技術比較
Hard-to-Hard vs. 傳統型（Flex 基材）
Dyad® 採用方式
Hard-to-Hard 壓印
傳統方式
Flex 基材複製模具
面內變形大幅降低
存在由 Flex 基材造成的變形
在 AR 眼鏡用途可提升均勻性與畫質
AR 眼鏡用途因畫質導致良率下降
可緩解高長寬比下的柱狀折斷
脫模時結構破損風險高
實現量產等級 Overlay ≤±1μm
難以穩定維持高精度對位
Standard NIL Tool（PET基板 Soft Mold）
vs
SCIVAX Dyad®（玻璃基板 Replica Mold）
變形比較
Dyad® Hard-to-Hard 壓印
良率比較
實測數據 — 最大變形：Standard NIL tool 40pm/pitch → Dyad® 2pm/pitch（約 1/20）
系統配置
設備構成模組
旋塗機 ×2
烘烤＆冷卻板
真空貼合
對位（選配）
壓印成型
自動脫模
搬送機器人 ×3
載入埠 ×4
載入埠明細：壓印基板用 ×2 ／ 母模用 ×1 ／ 複製模具用 ×1
規格
主要規格
| 項目 | Dyad® 200 |
|---|---|
| 成型方式 | UV 奈米壓印（UV-LED λ=365nm） |
| 晶圓搬送 | FOUP to FOUP |
| 工件尺寸 | Φ200mm（0.3mm ≤ t ≤ 1mm） |
| 模具尺寸 | Φ200mm（0.3mm ≤ t ≤ 1mm）/ Φ300mm（0.7mm） |
| 加壓力 | ≤ 0.90MPa |
| 真空度 | ≤ 50Pa |
| 脫模機構 | 垂直脫模 |
| 對位精度 | ≤ ±1μm（選配） |
| 產能 | 20 片/小時（依製程而定） |
| 外形尺寸 | W5,460 × D2,560 × H2,500（mm） |
※ 關於支援 Φ300mm 晶圓的 Dyad® 300 機型，請另行洽詢。
